milan·ac米兰|品牌官网 /product/topcon-cell-psg-cleaning-equipment/ Fri, 19 Jul 2024 06:45:03 +0000 /?post_type=product&p=1349 特点描述

高精密水膜射流泵,无极控速控流,精密控制水膜量;
精准带液滚轮,防止药水带液量不稳定;
高精密防腐电导率测试仪,自动调节酸度,保证腐蚀速率;

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技术性能

  • 产能182mm≥16000 wafer/hour,182×182硅片(12道),210mm≥12500 wafer/hour,210×210硅片(10道);
  • 传动速度:1.0-5.5 m/min;
  • 操作速度:5.0m/min;
  • 碎片率<0.5‰;
  • 正常运行时间Uptime ≥98﹪;

技术参数

清洗流程:水膜→Acidic→Rinse→DRY

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